Q & A

Q1：IPT 6000將Prober與Tester整合有何實際上的優點呢？

Q2：IPT 6000直接收光最大的優點為何？

Q3：IPT 6000選購配備之光學尺的主要功能為何？

Q4：什麼時機需要用到快速更換Chuck Table模組？

Q5：磁力原理的Edge Sensor有何優點？

Q6：點測時為何需要同時觀察多個參數之mapping圖？

Q1：IPT 6000將Prober與Tester整合有何實際上的優點呢？

Answer1：可分使用上的優點與維修上的優點。

使用上的優點：1. Prober與Tester之整合，因兩者間不需要特別溝通的介面，完全由一個程式來控制，不僅速度增加，效益提高，且操作介面上更為簡單。除此之外，由於為整合的程式，故能增加許多軟體上的功能，例如可同時監控多種參數的晶圓圖(Mapping)而不影響速度等。市面上其他非整合的機種，若要增加一個功能，需要Prober廠商與Tester廠商均願意配合，才能做到一個小小的修改。對IPT 6000而言，沒有這方面的問題。

維修上的優點：IPT 6000只要需要任何售後服務，是單一窗口，且沒有責任不清的問題。ㄧ般非整合的系統，若遇到任何維修上的問題，有可能不知該找Prober廠商或是Tester廠商，或是兩方都需要一起到才能解決，若遇到兩個廠商互推責任，那就對使用者更加不利了。

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Q2：IPT 6000直接收光最大的優點為何？

Answer2：一般市面上所使用之光學顯微鏡鏡頭在某些波段可能會有吸光的效應，且在不同波長可能造成不同的吸光效果，在測量精確度上將面臨一些變數與瓶頸，如UV波段的測試等。相對的直接收光的設計是最理想的的光性測試模式。

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Q3：IPT 6000選購配備之光學尺的主要功能為何？

Answer3：機械螺桿經一定時間其精度會漸漸產生誤差。IPT 6000之光學尺回饋系統可補償經多年使用後機械精度的差異，確保長期定位的精確度

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Q4：什麼時機需要用到快速更換Chuck Table模組？

Answer4：有些客戶的偶而需要用同一台Prober來點測不同的產品如四元產品或藍光產品等，故需更換導電及非導電的Chuck Table。惠特公司針對此狀況，特別設計一種快速更換Chuck Table模組，兩者間互換不需超過三分鐘，這將對有此需求的客戶在產能上有很大的助益。

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Q5：磁力原理的Edge Sensor有何優點？

Answer5：惠特公司磁力原理的Edge Sensor是已申請到專利的設計，針壓相當穩定，無彈性疲乏的問題，一但調整到適合之針壓克數後，針壓幾乎就固定住了。一般彈性原理的Edge Sensor，需要工程師時時到產線停止設備來調整針壓，不但影響生產線之產能，也增加很多調整上的變數與人為上的疏失。

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Q6：點測時為何需要同時觀察多個參數之mapping圖？

Answer6：在點測過程中，Operator最重要的工作就是注意點測值是否有任何異常，需停機檢察，查明異常的原因。點測異常的判定，往往是從一個參數的Mapping圖無法完整呈現，若能同時觀察電性、亮度、波長等多種Mapping圖，則可掌握最佳的點測狀況。現在市面上大部分系統，頂多能提供一種參數的Mapping圖，會有該顯現參數雖正常，其他參數並不正常Operator卻不知停止檢查的狀況，造成較大的損失。而多參數晶圓圖的呈現功能，是非整合的系統較難達成的功能。

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